液氮
深冷箱主要由液氮罐、调压保护装置、电控柜、深冷箱、换热器、保温装置、电动机、循环风扇、调温装置等组成。
制冷原理如下：
液氮深冷箱以液氮作为冷源。液氮存放在低温液体罐内，使用时先关闭液氮罐的放空阀，再打开增压阀，因部分液氮气化使液氮罐内部压力升高，此时找开液氮的出口阀，液即从贮罐内压出，经气动薄膜调节阀进入深冷箱。
液氮进入深冷柜后，经喷管喷出，由于箱体温度高于液氮温度，所以它很快气化，?且体积膨胀、使气温下降，轴流风机将低温氮气吹入工作室，使工件冷却。
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