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低温真空泵的应用与产品特点
日期：2025-04-29 20:32
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摘要：
低温真空泵(又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵，是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程，是集成电路专用设备中的关键设备之一；低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。
产品特点：
1、极高真空度，本系列低温泵均可达到10-7 Pa的极高真空度，高可达10-9 Pa极限真空度。
2、无油无污染，利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空 。
3、气体抽速大，气体抽速大，排气速度快。
4、运行费用低，只需电力和冷却水保障，无需液氮等低温液体，操作简单，性价比高。
5、可靠性高， 无运动部件，低速运行，寿命长；外界干扰和系统内微粒不影响低温泵工作。